专访青田恒韧：全球首家科研型CD-SEM如何突围？

第十六届国际纳米技术产业博览会（CHInano）于近日在苏州国际博览中心举行。本届纳博会期间，芯师爷推出系列采访报道，本篇为青田恒韧半导体科技有限公司（以下简称：青田恒韧）总经理赵伟芳的专访。

青田恒韧在其展位展出了科研型CD-SEM产品、离线版图像分析软件及CD量测测试服务。

产线CD-SEM量测的，是大量版图一致的标准晶圆；科研客户需要量测的，却可能是少量标准晶圆、碎片、裂片，或厚度超过几毫米的键合片，也可能是硅基、铌酸锂基、玻璃基等各种的材质；所以产线的需求和科研的需求是不一致的。全球第一家提出“科研型CD-SEM”概念的青田恒韧，把CD-SEM做成一套电镜附件装进扫描电镜，满足科研领域的CD-SEM需求——这家成立四年多的创业公司，凭什么在CD-SEM这个“天花板级难题”里找到自己的位置？带着这些疑问，我们专访了赵伟芳博士，为业内读者揭秘。

以下访谈内容根据现场采访整理，作不改原意编辑。

1. 本次纳博会青田恒韧带来了哪些重点展品？

赵伟芳：我们带来的是两个产品加一个服务。产品一是科研型CD-SEM，把CD-SEM的功能浓缩成一套电镜附件，可以像能谱仪一样装在现有扫描电镜的扩展口上，既保留了高压SEM观测功能，又实现完整的低压CD-SEM量测功能；产品二是离线版CD-SEM图像分析软件，把底层的CD-SEM算法移植出来，客户拿着扫描电镜图像就能直接测量，还能与产线结果对标反馈。一个服务则是面向科研客户的CD量测测试业务，客户把样品交给我们，我们按照客户要求完成CD量测测试。

2.为什么从产线CD-SEM转向“科研型CD-SEM”？这一概念是怎么提出的？

赵伟芳：产线CD-SEM的量测对象是规格完全一致的晶圆，需大批量跑量测，一次很多片。但科研客户的量测对象有所不同，可能只有几片wafer，甚至只是一些裂片。2025年我们调研市场时发现，中试线、小型晶圆厂、高校和科研院所的需求与产线的需求是有差异性的：要兼容4寸、6寸、8寸，还要能测小片、裂片，厚度可能因为键合而超过几毫米，材质可能是硅基、铌酸锂基、玻璃基等。市场调研及客户反馈得出，还没有设备厂商做这样的产品，我们由此提出“科研型CD-SEM”概念，成为全球第一家做这件事的公司。

3.科研型CD-SEM为什么做成装在现有电镜上的一套附件？相比产线CD-SEM有什么优势？

赵伟芳：我们最初也考虑过做一整套技术方案，但从商业角度看，客户要的是性价比。客户实验室里多数是已配备扫描电镜的，我们决定把CD-SEM做成一套软硬件附件装在电镜的扩展口上，从而为客户提供一套性价比更优的解决方案。尽管我们称之为一套“附件”，但在扫描电镜给定的框架里做新产品，难度并不小，我们的研发人员涉及到软件、算法、机械、电控等多个技术领域。辩证地看问题，在现有电镜上做开发的好处也很直接：电镜本体已经过长期的验证，只要本体稳定，我们的产品稳定性就大幅提升了；同时客户成本也能大幅降下来。

这个技术路线，使得我们的产品占地面积比产线CD-SEM的一半还小。同时，对科研客户来说，这是两种功能模式集成于一体的设备，既保留了高压SEM观测功能，又实现完整的低压CD-SEM量测功能。

4.公司成立近五年，前几年的技术积累是如何支撑这次转型的？

赵伟芳：我们也是首次创业，经验匮乏，走了不少弯路。做CD-SEM，本质上就是“造电镜”和“用电镜”两件事。公司2022年4月成立，最初两件事都想做；到2025年4月成立三周年复盘时，我们做了产品和技术路线的转型：研制科研型CD-SEM，不需要造电镜，聚焦在用电镜。

我们的CD-SEM功能及使用，软件体系是100%自研的：底层算法和逻辑全部自主开发，操作界面沿用行业习惯便于操作。用电镜，一方面需要对电镜内部构造比较清晰，另一方面需要对客户需求理解更充分——两头都掌握，才能把产品做好，更好地满足客户需求。

5.在技术指标与先进制程方面，目前有哪些进展？

赵伟芳：我们目前能够实现20纳米级的量测，我们实测的重复性（3σ）达到0.2纳米以下，也就是±1%以内。目前大多数客户的需求集中在150纳米左右的量测。我们更多还是尽可能满足客户需求，跟着客户走。

6.作为一家中小企业，如何赢得客户的信任？

赵伟芳：我们主要还是依靠产品本身，通过落地DEMO验证方案，同时做到快速响应。目前我们已经服务了近十家DEMO客户。合作的科研老师专业功底深厚、严谨细致，在DEMO打磨过程中，我们也收获了老师们大量宝贵的指导意见。

7.创业初期如何支撑过来？目前的融资与经营状态如何？

赵伟芳：支撑过来无非两端：资金端和客户端。

资金端要感谢之前投资我们的投资机构，他们给了我们足够的信任和时间，他们作为早期耐心资本，也愿意陪我们承担相应的创业风险。我们自己也比较节省，账上始终保留相对充足的现金储备。

客户端，2025年10月参加上一届纳博会之后，我们是客户需求牵引我们在研发。我们不闭门造车，而是让客户定义产品，依靠客户的需求在迭代产品，客户的需求让我们更有信心去持续研发。

8.如何看待CD-SEM的国产化进程与竞争格局？

赵伟芳：在整个半导体设备里，检测是国产化率最低的环节之一，而CD-SEM在检测类设备里国产化率更低，大概率是最后被突破的几个设备之一。

我们转型聚焦科研型 CD-SEM 产品，和主打产线 CD-SEM 的国产厂商形成清晰的互补关系。面向量产产线的 CD-SEM，核心服务晶圆工厂大规模、高节拍的在线量测，强调长时间连续稳定运行、高吞吐量、标准化 Recipe 批量复用、良率闭环监控，适配成熟工艺、成熟制程的量产管控，对自动化、稼动率、运维配套体系要求极高；而科研型 CD-SEM 主要面向高校、科研院所，侧重工艺探索、新材料与新器件研发、前沿制程机理研究，更看重灵活的功能拓展、高精度离线表征、丰富的信号采集与分析接口、可定制化的扫描与算法模块，支持小批量、多变量、非标准化的实验测试。

二者客户场景不重叠、能力定位错位：产线机型承接量产阶段稳定的在线 CD 监控需求，保障工厂持续生产；科研机型支撑前端工艺开发、结构机理验证、新工艺参数迭代，为后续量产工艺沉淀数据基础。在产业生态上，两者共同补齐国产 CD-SEM 从前沿研发到晶圆量产的完整链条，避免同质化竞争，联合完善国内半导体量测设备的国产化布局，覆盖从实验室创新到工厂规模化制造的全流程需求。

9. 未来2-3年的规划是什么？

赵伟芳：术业有专攻，我们会在科研型CD-SEM这个细分领域内做精做细。这个市场空间有限，对我们公司的自身定位来说刚刚好。

未来2-3年，以科研型CD-SEM产品为基础，为客户提供离线版CD量测软件和CD量测测试服务。在两个产品一个服务中，持续为科研客户提供DEMO测试和量测测试服务。