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近日,第十六届国际纳米技术产业博览会(CHInano)在苏州国际博览中心举行。本届纳博会期间,芯师爷推出系列采访报道,本篇为中材新材料研究院(广州)有限公司商务总监罗俊升的专访。

检测分析是芯片研发的 "眼睛",而这家第三方检测机构的客户里,90% 是高校和科研院所。一年服务四五千家课题组,但罗俊升却说这是一门 "客单价很低" 的生意;面对国产替代,他给出一个清醒判断:设备差距主要卡在基础零部件,软件层面国内外已几乎没有差距。半导体材料与器件的微纳米表征,到底是一门怎样的生意?带着这些问题,芯师爷专访了罗俊升。
以下访谈内容根据现场采访整理,作不改原意编辑。
1. 本次纳博会带来了哪些展品?公司的业务布局如何?
罗俊升:我们是第三方检测服务机构,专注材料微观结构表征分析。面向半导体和芯片领域,主要做失效分析(FA)、制程中纳米级镀膜与涂层的测量、成分分析和逆向工程,业务形态与这个赛道的头部机构类似,集中在 FA(失效分析)和 MA(材料分析)。目前 90% 的客户来自高校和科研院所,10% 是半导体企业。
2. 制样环节积累了哪些技术储备?敏感材料如何保证数据可靠?
罗俊升:制样决定边界,设备看见尺度。我们在 FIB 加工、离子束截面抛光(CP)、失效点定位等环节有大量技术储备,八成以上的业务是金属基底和复合材料样品,不同金属的应力差异、加工相变、位错等问题,我们都有应对经验。对于半导体薄膜、量子点这类不耐辐照、易受热损伤的敏感样品,我们会用 iDPC(积分差分相位衬度)等低剂量成像技术,保证样品保持原始形貌状态,拍出来才是样品真实的样子。
3. 检测分析这个领域,国产供应走到哪一步了?设备与软件的差距如何?
罗俊升:设备端,球差电镜、透射电镜、扫描电镜目前主流还是赛默飞、蔡司这些海外品牌,我们也在与国产设备厂商合作试用,但整体仍有差距 —— 差距主要卡在基础零部件上,比如电子显微镜、真空系统、电子束系统,国外有几十年上百年的积累,我们还处于储备阶段。软件端则不同,我们公司有 8 名软件工程师,自研 MicroEagle 数据分析工具集,面向科研用户免费开放,累计使用超过 10 万人次、分析数据近 80 万条。软件层面,国内外没有太明显的差距。
4. 科研客户与企业客户的需求有何不同?
罗俊升:差异非常明显。科研用户追求的是突破,要表征到别人没表征过的点,才能发好期刊,要求更精细;企业端要解决生产和研发中的实际问题,时效要求高,常常要求 24 小时或 48 小时内出结果。
服务方式也不同:企业端我们会帮客户设计整套检测分析方案、尽量简化下单流程;科研端更多是听客户的表征目的,按他们的方案执行落地。另外,科研口应用高端表征方法通常比产业早 3 到 5 年,比如三维原子探针(APT)、4D-STEM、旋进电子衍射(PED)这些,产业端近两年才开始用起来。
5. 与浙大华南院共建芯片半导体检测研发中心,是出于什么考虑?
罗俊升:主要是设备资源。高端设备太贵,一台球差电镜三四千万元,企业自购的话使用频率低,成本收益并不平衡。前期我们和高校、科研院所合作,用他们的设备、我们的人员操作和分析;等高端表征业务体量上来,再考虑自购大型设备。我们公司成立 8 年,测试工程师大多有 10 年以上经验,每天专注表征分析,水平上不比大多数高校测试中心差,和学校之间是相辅相成的关系。
6. 第三代半导体与先进封装对微纳米表征提出哪些新要求?
罗俊升:第三代半导体和先进封装涉及大量微纳米级的功能性、保护性镀膜,各种沉积工艺和搭配,对精细化表征提出了更高要求;很多样品不耐辐照、易受热损伤,需要定制化的制样和表征方案,比常规样品更难制备、更难拍摄。二维材料、MOF、COF 这类新材料,分析测试难度也很大。但这类需求目前大部分还处在逆向工程和国产替代阶段,体量还小;等他们真正进入中试、量产、流片之后,前期良率不高、失效和缺陷样品多,检测需求才会迎来爆发。
7. 能否为初创企业和科研团队提供轻量化的全流程服务?
罗俊升:我们提供从方案制定、制样、测试到数据分析与解释的一站式解决方案。企业端尽量简化下单沟通流程,客户提出要解决的问题、要证明什么,我们帮他设计整套检测方案、提供数据佐证;科研端我们听客户安排执行。客户不需要操心表征流程,可以把时间放在实验设计和样品制备上。
8. 数据公信力如何保障?实验室质量管理体系如何布局?
罗俊升:我们具备 CMA、CNAS 资质,并通过 ISO9001 体系认证。全流程数字化管理:样品一收到就打上二维码,每个环节、每个经手人都要扫码,制样手段、测试手段、对应人员全部可溯源。如果最终交付与客户预期不符,我们可以逐环节回溯,找到问题在哪一步,再针对性优化。
9. 行业竞争态势如何?哪个环节最需要产业协同?
罗俊升:竞争非常激烈。高校设备越来越多,外溢需求越来越少;资本和人才也在涌进这个行业。整体是个通缩的市场 —— 供应商增加了 10 家,客户可能只增加 5%,所以一直很内卷。展会上我们和设备厂商交流最新的产品迭代和应用思路,也会去学习头部机构的打法。我们自己不做恶性竞争,不轻易切入别人做得好的板块,把擅长领域做深,让客户体验更好。
10. 未来在检测品类和区域布局上有何规划?
罗俊升:区域上我们面向全国,广州和宁波两个基地,客户分布比较平均 ——国内客户覆盖华南、华东、华北、东北等区域,以多所重点高校和科研院所为主;海外客户覆盖新加坡、欧洲、韩国等地的知名高校与研究所。品类上坚持做自己擅长的事。
这是我们第四次参加纳博会,主要目的是增加曝光、获取客户线索,纳博会来的都是比较精准的研发人群,和我们很契合。
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